Mô tả
Máy dò rò rỉ helium chân không cho ngành bán dẫn SFJ-16M là gì?
Máy dò rò rỉ helium chân không cho ngành bán dẫn SFJ-16M là thiết bị dò rò rỉ helium dạng khối phổ (mass spectrometer) với thiết kế nhẹ và linh hoạt. Thiết bị phù hợp cho cả kiểm tra ở áp suất thấp và áp suất cao, có thể sử dụng để phát hiện rò rỉ trong môi trường chân không (áp suất thấp) hoặc kiểm tra cục bộ ở áp suất cao thông qua đầu dò sniffing.
Thông số của máy dò rò rỉ helium chân không cho ngành bán dẫn SFJ-16M
| Nhóm thông số | Thông số | Giá trị |
|---|---|---|
| Hiệu suất | Độ nhạy rò rỉ nhỏ nhất (chế độ chân không) | ULTRA: 5.0×10⁻¹³ Pa·m³/s (tốc độ bơm > 5 l/s) FINE: 1.0×10⁻¹² Pa·m³/s (tốc độ bơm 2.5 l/s) |
| Độ nhạy rò rỉ nhỏ nhất (sniffer) | 5.0×10⁻⁸ Pa·m³/s | |
| Thời gian phản hồi | < 1 giây | |
| Thời gian khởi động | ≤ 95 giây | |
| Dải phát hiện rò rỉ | 5.0×10⁻¹³ ~ 1.0×10⁻³ Pa·m³/s | |
| Dải hiển thị tốc độ rò rỉ | 1.0×10⁻¹³ ~ 1.0×10⁻³ Pa·m³/s | |
| Áp suất phát hiện tối đa | 1500 Pa | |
| Khối lượng khí phát hiện | 2, 3, 4 (H₂, He³, He⁴) | |
| Cấu hình | Giao diện người – máy | Màn hình cảm ứng LCD màu 5 inch |
| Nguồn ion | 2 nguồn, phủ oxit yttri mạ iridium, chuyển đổi tự động | |
| I/O | 8 đầu vào, 8 đầu ra | |
| Giao tiếp | RS232/485, LAN | |
| Giao diện MES | Tiêu chuẩn | |
| Kích thước (W×D×H) | 592 × 498 × 370 mm | |
| Cổng dò rò rỉ | DN16 KF / 2 cổng | |
| Nguồn điện | DC 24V | |
| Nhiệt độ làm việc | 0 – 40°C | |
| Công suất | 240W | |
| Ngôn ngữ hiển thị | Trung – Anh | |
| Hiển thị dữ liệu | Số, biểu đồ cột, biểu đồ đường |
Hiệu suất của máy dò rò rỉ helium chân không cho ngành bán dẫn SFJ-16M, đạt chứng nhận CE
- Hỗ trợ đa dạng phương thức truyền thông thông qua nhiều giao diện analog và digital;
- Thời gian khởi động ngắn, tốc độ phản hồi tín hiệu và làm sạch nhanh;
- Hiệu suất phát hiện rò rỉ cao và độ tin cậy vượt trội;
- Tích hợp chức năng cảnh báo và chẩn đoán lỗi thông minh.
Ứng dụng của máy dò rò rỉ helium chân không cho ngành bán dẫn SFJ-16M
Như mọi người đã biết, ngành bán dẫn đòi hỏi độ kín gần như tuyệt đối cùng môi trường chân không siêu sạch, do đó máy dò rò rỉ helium SFJ-16M ra đời và trở thành giải pháp then chốt giúp kiểm soát rò rỉ, đảm bảo chất lượng sản phẩm và duy trì sự ổn định cho toàn bộ quy trình sản xuất.
- Phát hiện rò rỉ trong các buồng chân không của thiết bị lithography, etching, deposition
- Ứng dụng trên các hệ thống CVD, PVD, ALD, Máy khắc plasma
- Kiểm tra linh kiện và module kín khí
- Kiểm tra hệ thống khí đặc biệt trong sản xuất chip, mạch bán dẫn
- Kiểm tra R&D và phòng thí nghiệm bán dẫn
- …
